В монографии автором изложены оригинальные методология и методы исследований алмазов, в частности для исследований использовались современные методы и оборудование, в т. ч. системы электрофизического контроля полупроводниковых структур, контактные и бесконтактные системы профилометрии, установки спектрофотометрического анализа в ИК, видимом и УФ диапазонах; методы и оборудование люминесцентного и поляризационного контроля, электронная микроскопия, методы спектральной и топографической катодолюминесценции, методы электронно-ионного элементного и структурного анализа, рентгено-структурные и рентгено-спектральные методы.

Описана последовательность операций при изготовлении приборов на алмазах. Прежде всего для изготовления образцов устройств и их элементов использовались методы и оборудование вакуумного нанесения проводящих, полупроводниковых и вспомогательных слоев, включая магнетронное, электронно-лучевое, молекулярно-лучевое осаждение, CVD- и HPHT-технологии синтеза алмаза, технология ионной имплантации, лазерные, ионно-плазменные и ионно-лучевые технологии обработки и травления.

Обзор представляет интерес для ученых, инженеров и преподавателей высшей школы, аспирантов и магистров, студентов и бакалавров, специализирующихся в области радиоэлектроники и микросистемной техники.

sitemap
Наш сайт использует cookies. Продолжая просмотр, вы даёте согласие на обработку персональных данных и соглашаетесь с нашей Политикой Конфиденциальности
Согласен
Поиск:

Вход
О компании
Журналы
Книги
Медиаданные
Редакционная политика
Реклама
Контакты
TS_pub
technospheramag
technospheramag
ТЕХНОСФЕРА_РИЦ
© 2001-2025
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

Яндекс.Метрика
R&W
 
 
Вход:

Ваш e-mail:
Пароль:
 
Регистрация
Забыли пароль?
Медиаданные:

Учредитель
Издатель
Авторам:

О книге
А.А. Алтухов. Под ред. П.П. Мальцева
Алмазы в микроэлектронике: от исследований к разработкам
2200 руб.
купить
ЧИТАТЬ КНИГУ
СКАЧАТЬ БЕСПЛАТНО (3569.9 Кб)
В монографии автором изложены оригинальные методология и методы исследований алмазов, в частности для исследований использовались современные методы и оборудование, в т. ч. системы электрофизического...


 
 Отзывы на книгу
 
 Купить книгу
Эта книга в издательстве стоит
2200 руб.
ЗАКАЗАТЬ В ИЗДАТЕЛЬСТВЕ
 
 Ещё книги из этой серии
Дементьев А. Н., Жуков А.О., Ильков В.К., Скрынский В.Р. Под ред. П.П. Мальцева
Метаматериалы в радиоэлектронике: от исследований к разработкам
975 руб.
Все книги из серии "Мир радиоэлектроники"
Разработка: студия Green Art