В серии «Мир физики и техники» выходит книга "Контроль новых технологий в твердотельной СВЧ электронике"
Просмотры: 1343
04.12.2015
МИР ФИЗИКИ И ТЕХНИКИ
Груздов В.В., Колковский Ю.В., Концевой Ю.А.
Контроль новых технологий в твердотельной СВЧ электронике
Москва: ТЕХНОСФЕРА, 2016. - 328 с.
ISBN 978-5-94836-426-1
Книга РИЦ "ТЕХНОСФЕРА" — "Контроль новых технологий в твердотельной СВЧ электронике"
AIGaN/GaN. Рассмотрены системы отечественных и зарубежных стандартов, на основе которых проводятся разработки СВЧ транзисторов.
Подробно описаны физические основы гетероструктур, описаны свойства широкозонных полупроводников, методы изготовления СВЧ транзисторов. Детально анализируется технология производства транзисторов с учетом имеющегося опыта их реального изготовления. Рассмотрены электрические, оптические, рентгеновские, электронно-микроскопические и аналитические методы, которые применяются при входном и технологическом методах контроля. Рассмотрен опыт создания в ОАО «НПП «Пульсар» СВЧ транзисторов и СВЧ блоков на их основе.
{/br}
Структура книги:
- Посвящена методам технического регулирования и защиты интеллектуальной собственности, а также стандартам и нормативным документам, определяющим технологию создания электронных приборов на широкозонных материалах и методы контроля технологических процессов.
– Содержит описание технологического процесса создания СВЧ электроники на нитриде галлия и определение ключевых контрольных точек технологического процесса, обеспечивающих надежность изделий СВЧ электроники. Здесь же дана классификация методов контроля.
-Посвящена методам электрического и теплового контроля характеристик элементов конструкции СВЧ приборов: теплопроводящих подложек, гетероэпитаксиальных, металлических и диэлектрических слоев структур, омических контактов, барьеров Шотки и др. Методы включают измерение удельного сопротивления, концентрации и подвижности носителей зарядов, методы измерения вольт-фарадных характеристик полупроводниковых структур, методы контроля теплопроводности.
– Содержит анализ оптических методов контроля результатов технологических операций, включая методы оптической микроскопии, методы эллипсометрии, оптические методы контроля, основанные на исследовании спектральной зависимости коэффициента отражения, методы контроля фотолюминесценции.
–Посвящена методам рентгеновского контроля и включает методы рентгеновской дифрактометрии, методы построения рентгеновских топограмм и методы рентгеновской дефектоскопии.
– Содержит анализ использования методов электронной и ионной микроскопии и спектрометрии при анализе технологического процесса создания изделий СВЧ электроники, таких как просвечивающая и растровая электронная микроскопия.
–Посвящена методам электронной и ионной спектроскопии: методам электронной оже-спектроскопии, вторичноионной масс-спектрометрии и спектроскопия обратного резерфордовского рассеяния.
–Содержит результаты разработок, проводимых в течение последнего десятилетия в НПП «Пульсар» на основе описанных в этой книге технологических процессов и методов их
контроля, что служит иллюстрацией эффективности изложенных в книге методов сквозного контроля технологии создания твердотельной СВЧ электроники.
Данное пособие будет полезно специалистам в области электроники, исследователям, инженерам-практикам и разработчикам радиоэлектронной аппаратуры.
Необходимо авторизоваться!
eng
