eng
Просмотры: 41
07.04.2025
Автор: А.А. Алтухов. Под ред. П.П. Мальцева
ISBN: 978-5-94836-716-3
М.: ТЕХНОСФЕРА, 2025. – 306 с.
ISBN: 978-5-94836-716-3
М.: ТЕХНОСФЕРА, 2025. – 306 с.
Описана последовательность операций при изготовлении приборов на алмазах. Прежде всего для изготовления образцов устройств и их элементов использовались методы и оборудование вакуумного нанесения проводящих, полупроводниковых и вспомогательных слоев, включая магнетронное, электронно-лучевое, молекулярно-лучевое осаждение, CVD- и HPHT-технологии синтеза алмаза, технология ионной имплантации, лазерные, ионно-плазменные и ионно-лучевые технологии обработки и травления.
Обзор представляет интерес для ученых, инженеров и преподавателей высшей школы, аспирантов и магистров, студентов и бакалавров, специализирующихся в области радиоэлектроники и микросистемной техники.
Заказать книгу в издательстве
Комментарии читателей
