Книга посвящена КМОП интегральным схемам (ИС) со структурой «кремний на
сапфире», которые являются стратегически важным направлением создания ИС для
экстремальных и ответственных применений и одновременно быстроразвивающимся
перспективным направлением создания больших ИС (БИС) и систем на кристалле
(СнК) для мобильных систем связи. В книге рассмотрены следующие вопросы:
специфика интегральных схем со структурой КМОП КНС; требования к исходным
материалам и КНС-структурам; базовые технологические процессы изготовления
приборов и схем; типовые конструкции элементов КМОП КНС интегральных схем
различных поколений, их электрические характеристики и параметры; методы
приборно-технологического и схемотехнического моделирования приборных структур
и типовых цифровых и аналоговых схемных фрагментов; основные характеристики
и параметры радиационно стойких КМОП КНС-микросхем и БИС отечественных
и зарубежных производителей; элементная база оптоэлектронных ИС, в том числе
негальванические фотоэлектрические модули для автономного электропитания
и модули для многоканальных оптических соединений.
Книга предназначена для инженеров и специалистов, занимающихся разработкой
и применением ИС и БИС, а также для студентов и аспирантов соответствующих
специальностей.
Табл. 66, рис. 192, библ. 195 назв.