Издание осуществлено при финансовой поддержке
Российского фонда фундаментальных исследований
по проекту № 15-07-07009,
не подлежит продаже
Рецензент: академик РАН Ю.В. Гуляев
Представленная читателю книга составлена из научных работ
сотрудников и выпускников Национального исследовательского
университета «МИЭТ» и касается развивающихся направлений
нанотехнологий в электронике. Материал условно разделен на круп-
ные части: «Теория, Моделирование, Эксперимент», «Материалы,
Технологии», «Методы исследований», «Приборы и устройства».
Следует отметить, что каждая из статей сборника представляет
собой законченный труд научно-исследовательского либо аналити-
ческого характера и отражает современное состояние исследований
в обсуждаемых авторами областях.
Книга будет полезна специалистам в различных областях микро-
и наноэлектроники, а также молодым исследователям – аспирантам
и студентам-магистрантам.