eng
Содержание
ПЛЕНАРНЫЕ ДОКЛАДЫ 18
Особенности элементной базы СБИС на основе технологии КМОП
КНИ с полным обеднением
Шелепин Н. А., д. т. н. 18
Опыт разработки и производства микросхем промышленного
назначения
Бобков С. Г. 23
Технология сквозного проектирования радиоэлектронной
аппаратуры для АФАР
Груздов В. В., Колковский Ю. В., Миннебаев В. М. 28
Требование радиационной стойкости — экзотика для гурманов или
гарантия наличия и технического уровня результата разработки для
всех категорий потребителей ЭКБ?
Никифоров А. Ю., Телец В. А., Бойченко Д. В. 32
Объединенное информационное пространство как основа создания
аппаратуры отечественного производства
Исаев В. М., д. т. н., профессор, Чупринов А. А., к. т. н. 37
Микроэлектронная элементная база космических аппаратов:
состояние, проблемы и тенденции развития
Белоус А. И., Солодуха В. А. 39
Состояние работ в области моделирования полупроводниковых
компонентов с учетом влияния радиации и температуры
Петросянц К. О. 45
Проблемы локализации навигационно-связной аппаратуры.
Состояние дел с разработкой отечественных приемников и модулей
локальных систем навигации
Корнеев И. Л., к. т. н., Егоров В. В., к. т. н. 53
Оптоэлектронные системы для экстремальных условий
эксптуатации: особенности задания технических требований
и оценки работоспособности
Уланова А. В., Башкатов А. А., Никифоров А. Ю., Печенкин А. А.,
Цхведадзе Д. М., Черняк М. Е., Петров А. Г. 61
НАВИГАЦИОННОСВЯЗНЫЕ СБИС И МОДУЛИ 65
Разработка опытного образца синтезатора опорных частот
Цыпленков Ю. С., Овчинников В. Г. 65
Вопросы использования навигационных технологий в логистическом
обеспечении транспортировки и хранения грузов
Евсеев О. В., Буряк Т. С. 69
Принципы построения многочастотного приемника ГНСС на базе
СБИС К1888ВС018
Ландышев С. В., Клименко М. Ю. 70
Оценка влияния геометрических факторов и расстояния между
фазовыми центрами антенн на точность определения углов
пространственного положения спутниковой навигационной
системой на базе «фазовых» приемников ГНСС
Архипов В. А., Архипов А. В. 72
Отладка комплексированной навигационной системы на основе
микромеханических инерциальных датчиков и спутниковой
навигационной системы
Тимошенков А. С., Михеев А. В. 73
Исследование безопасных когнитивных радиосетей телематических
услуг
Присяжнюк С. П. 76
Практические аспекты применения инерциальной навигации
в автомобиле
Осадчий В. В. 76
Бортовое кибернетическое устройство «Гидра» платформы
«Синергия»
Малыгин Д. В. 78
Технологии высокоточной навигации по сигналам ГНСС в системах
автопилотирования транспортных средств
Дубинко Т. Ю., к. ф.-м. н. 78
Перспективы применения и потенциальные возможности
проектируемых технических модулей локальных систем навигации,
выполненных на отечествнной ЭКБ
Корнеев И. Л., к. т. н., Егоров В. В., к. т. н. 79
Стенд для проведения испытаний навигационных модулей ЛСН
Кузнецов А. С., Гришин А. Г., Татарчук И. А., Григорьев И. Д. 86
Исследование жизненных циклов программно-аппаратных
многофункциональных комплексов в инфотелекоммуникационных
сетях
Присяжнюк А. С. 88
ВЫСОКОПРОИЗВОДИТЕЛЬНЫЕ ВЫЧИСЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ 90
Модуль доверенной загрузки с возможностью удаленного управления
серверами
Романец Ю. В., Дударев Д. А., Панасенко С. П. 90
Вычислительные цифровые сети авиационного применения
Волков Д. А., Ананьев А. Ю. 94
Автоматизированная система управления научно-технической
документацией предприятия
Бычков И. Н., Лобанов И. Н. 97
Особенности топологического планирования ядер
высокопроизводительных процессоров семейства «Эльбрус»
Мороз Я. Н., Токарев Д. С. 98
Гетерогенная многопроцессорная система на кристалле
с производительностью 512 GFLOP/s
Эйсымонт А. Л., Черников А. В., Косоруков Д. Е., Насонов И. И., Комлев А. А. 99
Вычислительные ресурсы процессоров NeuroMatrix с плавающей
точкой в задачах обработки больших потоков данных
Мушкаев С. В., Бродяженко А. В., Болотников А. А. 100
Производительность вычислительной техники с процессором
«Эльбрус-8С» на задачах робототехнического комплекса
Бочаров Н. А., Парамонов Н. Б., Тимофеев Г. С., Панова О. Ю. 101
Концепция объединенного информационного пространства —
эскизный проект инструментальных и информационно-
аналитических средств разработки РЭА для различных категорий
пользователей
Алексеев В. В, к. т. н., Исаев В. М., д. т. н., профессор,
Чупринов А. А., к. т. н. 103
Каталог электронной компонентной базы ФГУП «МНИИРИП»
на платформе «Semantic MDM»™
Андриченко А.Н., к. т. н. 107
Анализ производительности кэш-памяти микропроцессоров
с архитектурой «Эльбрус»
Кожин А. С. 114
Решения по реализации многокристального процессора
для встраиваемых систем
Воробьев А. С. 116
Высокопроизводительное процессорное ядро NMC4 для обработки
векторных данных в форматах с плавающей и фиксированной точками
Черников А. В., Черников В. М., Виксне П. Е., Шелухин А. М. 118
Оборудование перспективных сетей связи
Гончаренко М. В., Кульгов А. В., Смирнов С. Е. 119
Разработка синтезатора синхросигналов на основе DLL для
микропроцессоров семейства «Эльбрус»
Мальшин А. В., Есаков И. А., Портнова Л. А. 122
ИНФОРМАЦИОННОУПРАВЛЯЮЩИЕ СИСТЕМЫ 125
Математическая модель радиолокационного шума от растительности
Зосимов В. В., Переверзев А. Л., Сизов В. И., Стрекопытов Д. В. 125
Открытая платформа на основе процессорного ядра RISC-V для
встраиваемых информационно-управляющих систем на основе
ПЛИС
Ливенцев Е. В., Силантьев А. М., Павлов А. Н. 128
Технология удаленной отладки аппаратной части и программного
обеспечения систем на основе ПЛИС
Павлов А. Н., Ливенцев Е. В., Силантьев А. М. 131
Концептуальные вопросы проектирования и производства
информационно-управляющих систем
Игнатов А. В., Погорельский С. Л., Понятский В. М., Шнырев Д. В.,
Карпов Я. Ю., Стрекопытов Д. В., Орлов А. Н. 133
Разработка автономной эндокапсулы для скининг-диагностики
желудочно-кишечного тракта
Баскин В. А., Соколов И. А., Асташкин А. В. 138
Унифицированная управляющая вычислительная система
космического назначения
Тарабаров П. А., Еремеев П. М., Гришин В. Ю. 142
Технология разработки надежного программного обеспечения
Гусев Е. В., Стефанцов А. В. 144
Проблемы внедрения SystemC в качестве каркаса для виртуального
прототипирования бортовой аппаратуры и стендов для разработки БПО
Мадумаров Т. А., Стефанцов А. В. 147
Автоматизированная система проверки качества материалов
печатных плат микрополосковой СВЧ-техники
Раков А. В., Собченко М. И., Думчиков К. А., Жуков В. В., Ухандеев В. И. 150
Построение высоконадежной резервированной бортовой
информационно-управляющей аппаратуры с применением
интерфейса SpaceWire для космических аппаратов
Карамов С. В., Жегулин М. О. 153
Анализ системных решений портативных метеостанций
Головинов Е. Э., Аминев Д. А., Кулаков В. А., Бакиров Ш. М., Григорьев П. В. 155
Совершенствование логики FPGA на основе увеличения разрядности
LUT и создания адаптивных логических модулей
Греков А. В., Тюрин С. Ф. 159
Модель нечеткого регулятора для управления движением мобильного
робота
Виноградов А. Н., Терентьев А. И., Петров О. В. 161
Реализация полиномиального интерполятора для микросхемы
прецизионного датчика положения
Королёв А. И., Жирков В. Ф., Большаков К. Н., Беневоленский Д. В. 166
Динамически реконфигурируемые системы и сети на кристалле
В ASIC НА 2D-3D ТЕХНОЛОГИЯХ
Суворова Е. А., Розанов В. В., Шейнин Ю. Е. 168
ТЕХНОЛОГИИ И КОМПОНЕНТЫ МИКРО И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ 170
1
Т-1С-ячейки и массивы сегнетоэлектрической памяти на основе
оксида гафния
Черникова А. Г., Красников Г. Я., Горнев Е. С., Козодаев М. Г., Негров Д. В.,
Орлов О. М., Зенкевич А. В., Маркеев А. М. 170
Экспериментальная оценка влияния параметров критических
операций типового КМОП-техпроцесса на дозовую стойкость
интегральных микросхем
Московская Ю. М., Никифоров А. Ю., Бобровский Д. В., Уланова А. В.,
Жуков А. А. 171
Безмасковая литография
Аваков С. М., Плебанович В. И. 175
Процессы атомно-слоевого осаждения для формирования слоев
затворного HkMG-стека с минимальным топологическим размером 32 нм
Руденко К. В., д. ф.-м. н., Мяконьких А. В., к. ф.-м. н., Рогожин А. Е.,
к. ф.-м. н., Гущин О. П., Гвоздев В. А. 179
Формирование Si-плавников FinFET минимальных размеров
нелитографическим методом
Четвериков В. А., Баранов Г. В., Итальянцев А. Г. 180
Построение системы моделирования и управления процессом
лазерной подгонки пленочных резисторов в микроэлектронике
Кондрашов В. В., к. т. н., Чапкин В. В., Лукашенков А. В., д. т. н., профессор 182
Требования к инженерной инфраструктуре создаваемых производств
микро- и наноэлектронных компонентов
Быков А. В., Высоких Ю. Е., Картавцев В. С., Краснобородько С. Ю. 186
Исследование проблем повторяемости и воспроизводимости
характеристик ячейки резистивной памяти на основе оксида гафния
Лебедев А. О., Иванов С. В., Воронов Д. Д., Орлов О. М. 191
Вольфрам, легированный титаном, как перспективный материал
межсоединений теплоустойчивых кремниевых ИС
Белов А. Н., Голишников А. А., Костюков Д. А., Путря М. Г., Шевяков В. И. 193
Конструктивно-технологические особенности элементов тестовых
структур для высокотемпературной микроэлектроники
Волков С. И., Бобков С. Г., Краснюк А. А. 196
Процессы криогенного травления кремния для формирования
структур наноэлектроники, микромеханики и преломляющей
рентгеновской оптики
Мяконьких А. В., Руденко К. В., Куваев К. Ю., Лукичев В. Ф., Гущин О. П.,
Мицын Н. Г., Юнкин В. А., Снегирев А. А. 200
Комплементарные методы усиления разрешения оптической
литографии
Красников Г. Я., Гущин О. П., Литаврин М. В., Горнев Е. С. 203
Технологии реконфигурирования РЭА на нижних уровнях
построения — перспективный путь реального импортозамещения
Верба В. С., чл.-корр. РАН, Воронцов Л. В., к. т. н. 206
Конструктивно-технологические особенности fl ip-chip-монтажа
кристаллов в производстве высокоинтегрированных 2,5D- и 3D-
микросборок
Сидоренко В. Н., Вертянов Д. В., Долговых Ю. Г., Ковалев А. А., Змеев С. В. 210
Метод формирования диэлектрической изоляции FinFET
Нагнойный В. А., Баранов Г. В. 212
Определение основных параметров надежности КМОП-процесса
полупроводниковой фабрики
Сивченко А. С., Кузнецов Е. В. 214
Интегрированные в структуры микроэлектроники волноводы
на дискретных наноразмерных элементах
Сапегин А. А., Барабаненков М. Ю., Итальянцев А. Г. 217
Оценка надежности КНИ МОП-транзисторов с нормами 0,18 мкм
при повышенных температурах
Бенедиктов А. С., Лебедев С. В., Игнатов П. В. 221
Технология жидкофазной эпитаксии для выращивания
многослойных гетероструктур силовой электроники на основе
арсенида галлия
Солдатенков Ф. Ю., Козлов В. А. 223
Анализ дефектов сенсорных кристаллов из монокристаллического
кремния и технологий производства
Власов А. И., Милешин С. А., Цивинская Т. А. 229
Газотранспортный хлоридный перенос кремния в сэндвич-системе
Баранов Ю. Н., Шварц К.-Г. М., Соколов Е. М., Стаценко В. Н.,
Федотов С. Д., Тарасов Д. В., Тимошенков С. П. 232
Влияние толщины металлизации омических контактов на основе
Mo/Al/Mo/Au к гетероструктурам AlGaN/GaN на их электрические
параметры и морфологию
Кондаков М. Н., Черных А. В., Черных С. В., Щербачев К. Д., Диденко С. И.,
Гладышева Н. Б., Дорофеев А. А., Капров Д. Б., Жукова Т. А.,
Слепцова А. А., Киселев Д. А. 238
Исследование барьеров Шоттки на основе Ni/Au, Mo/Au и Re/Au
к AlGaN/GaN-гетероструктурам
Слепцов Е. В., Черных А. В., Черных С. В., Слепцова А. А., Кондратьев Е. С.,
Гладышева Н. Б., Дорофеев А. А., Диденко С. И. 240
Моделирование многозатворных транзисторных структур
с островками легирования в канале
Марьина Е. В., Имаметдинов Э. Ф., Краснюк А. А. 242
Радиационно-фононное воздействие в технологических операциях
получения и преобразования твердотельных материалов и структур
Мотягин А. И. 245
ИЗДЕЛИЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ ОБЩЕГО
И СПЕЦИАЛИЗИРОВАННОГО НАЗНАЧЕНИЯ 247
Реализация интерфейса SpaceWire в микропроцессорах НИИСИ РАН
для космического применения
Новожилов Е. А. 247
Особенности влияния рассогласования каналов на параметры
быстродействующих многоканальных АЦП
Куликов Д. В., Савельев Д. И. 249
Блок цифровой коррекции для высокопроизводительного аналого-
цифрового преобразователя
Рычков А. И., Умурзаков Ф. А. 252
Мощные GaN-транзисторы для применения в перспективной
аппаратуре
Тарасов С. В., Семейкин И. В., Цоцорин А. Н., к. ф.-м. н. 254
Отказоустойчивая схема голосования
Тюрин С. Ф., заслуженный изобретатель Российской Федерации, д. т. н.,
Гончаровский О. В., к. т. н., Прохоров А. С. 256
Адаптивный логический модуль ADC-LUT
Вихорев Р. В., Тюрин С. Ф. 257
Исследование и оптимизация по критерию сбоеустойчивости
ячейки памяти для технологии КНИ КМОП 0,25 мкм при облучении
быстрыми нейтронами
Чистяков М. Г. 259
Сравнение характеристик линейного и дробно-линейного
(проективного) аналого-цифровых преобразований
Цыбульский О. А., к. т. н. 261
Мультимедийная СнК с процессорными ядрами PowerPC и NMC3
Филимонова И. П., Безкоровайный И. В., Дрягалкин Д. И., Чумаченко Г. О.,
Залетов В. Ю., Андрианов А. В. 268
Интегральный детектор для мониторинга напряжения питания
Бульбаков И. С., Гусев А. В., Старилов М. В. 269
Основные проблемы экспериментального контроля стойкости
DC/DC-преобразователей к воздействию ТЗЧ
Максименко Т. А., Анашин В. С., Козюков А. Е., Яковлев С. А. 271
Особенности разработки сложно-функциональных блоков SERDES
физического уровня интерфейсов передачи данных
Мажулин В. В., Шамаев Е. А., Барановский А. О. 276
Использование RFID-технологии в экосистеме Интернета вещей
Нуйкин А. В., Кравцов А. С. 279
Разработка и особенности использования аппаратного генератора
случайных чисел в составе защищенных систем на кристалле
Тимошин С. А., Нуйкин А. В., Ролдугина Ж. И. 281
Особенности разработки STD/IO-библиотек на основе MCML-
схемотехники в базисе технологии КМОП 90 нм и оценка перспектив
их применения при проектировании СБИС
Ильин С. А., Кочанов С. К., Ласточкин О. В., Новиков А. А., Шипицин Д. С. 283
Исследование сбоеустойчивости СОЗУ с функцией исправления
одиночных сбоев при воздействии ТЗЧ
Красников Г. Я., Лушников А. С., Мещанов В. Д., Рыбалко Е. С.,
Фомичева Н. Н., Шелепин Н. А. 288
Конструкторско-технологическая платформа проектирования СБИС
на базе отечественной технологии КНИ 90 нм
Ильин С. А., Кочанов С. К., Ласточкин О. В., Надин А. С., Новиков А. А.,
Шипицин Д. С. 293
Автоматизация работы с дизайн-центрами при заказе пластин
на российской фаундри
Иванов В. В., Панкратов А. Л., Рябинин А. Д. 296
Быстродействующий интегральный стабилизатор с малым падением
напряжения
Гусев А. В., Бульбаков И. С., Старилов М. В. 298
Особенности разработки малопотребляющих АЦП
последовательного приближения
Матвеев Д. В. 301
Особенности маршрута схемотехнического синтеза
и топологического проектирования СБИС по технологическим
нормам 28 нм
Бобков С. Г., Власов А. О., Горелов А. А., Эмин Е. К. 304
Высокоскоростной приемник с адаптивной подстройкой фазы
вспомогательного тактового сигнала для каналов с большим
коэффициентом затухания
Ларионов А. В., Буякова О. Н., Сысоева О. В. 307
Метод оценки частот сбоев коммерческих микросхем памяти
от тяжелых заряженных частиц по экспериментальным данным
испытаний на протонах
Галимов А. М. 314
Разработка маршрута характеризации специализированных
логических вентилей для повышения точности оценки
быстродействия в реконфигурируемых ПЛИС
Ильин С. А. 315
МЕТОДЫ И АЛГОРИТМЫ САПР СБИС 320
Применение электрических макромоделей для анализа синтезатора
частот с дробным коэффициентом деления
Гурарий М. М., Жаров М. М., Ионов Л. П., Мухин И. И.,
Русаков С. Г., Ульянов С. Л. 320
Метод огибающих для расчета переходного процесса
и установившегося режима электронных схем
Гурарий М. М., к. т. н., с. н. с., Жаров М. М., к. т. н., в. н. с., Русаков С. Г.,
чл-корр. РАН, д. т. н., г. н. с., Ульянов С. Л., д. т. н., г. н. с. 321
Оптимизация топологии конденсаторной матрицы в АЦП
последовательного приближения
Бутузов В. А., Бочаров Ю. И., Шунков В. Е., Кусь О. Н., Прокопьев В. Ю. 323
Специализированные программные средства для моделирования
радиационных эффектов и оценки стойкости полупроводниковых
изделий
Уланова А. В., Смолин А. А., Согоян А. В., Чумаков А. И., Никифоров А. Ю.,
Телец В. А. 329
Особенности моделирования субмикронных МОП-транзисторов для
расчета низковольтных и микромощных КМОП СБИС
Лебедев С. В., Петросянц К. О., Стахин В. Г., Харитонов И. А. 338
Компактные SPICE-модели элементов КМОП и БиКМОП СБИС,
работающих в экстремальных условиях
Петросянц К. О. 341
Обобщенная TCAD-модель для учета радиационных эффектов
в структурах МОП и биполярных транзисторов
Петросянц К. О., Кожухов М. В., Попов Д. А. 344
Влияние ячеек clock gating на устойчивость навигационного
приемного тракта к воздействию ОЯЧ
Фатеев И. А., Шалашова Е. С. 347
Исследование тепловых характеристик высокоплотных электронных
3
D-модулей ИУС
Хохлов М. В. 348
Проблемы информационно-коммуникационного взаимодействия
при проектировании радиационно-стойких изделий от элементной
базы до конечных устройств на примере использования
отечественной САПР
Машевич П. Р., Кокин С. А., Перминов В. Н. 353
Применение визуальной аналитики и систем приборно-
технологического моделирования при управлении качеством
технологических процессов формирования кристаллов СБИС
Глушко А. А., к. т. н., Яшин Г. А., Новоселов А. С., Амирханов А. В.,
к. ф.-м. н., Зинченко Л. А., д. т. н., Макарчук В. В., к. т. н., Сергеева Н. А. 354
Исследование и разработка концепции SPICE-модели МОП-
транзистора по технологии 0,35 КНИ со сложной геометрией затвора
F-типа с использованием системы приборно-технологического
моделирования TCAD
Яшин Г. А., Глушко А. А., к. т. н., Чистяков М. Г., Макарчук В. В., к. т. н.,
Новоселов А. С., Амирханов А. В., к. ф.-м. н., Зинченко Л. А., д. т. н. 357
Разработка набора триггеров в базисе КМОП КНИ с повышенной
устойчивостью к воздействию ОЯЧ
Фатеев И. А., Шалашова Е. С. 359
СВЧ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ И МОДУЛИ 362
Практика разработки и верификации инструментов проектирования
(PDK) СВЧ МИС
Пушница И. С., Стрельников С. И., Фазылханов О. Р., Филаретов А. Г. 362
Особенности разработки радиационно-стойких БИС синтезаторов
частот СВЧ-диапазона
Сотсков Д. И., Елесин В. В., Кузнецов А. Г., Назарова Г. Н., Чуков Г. В.,
Усачёв Н. А., Телец В. А. 363
Особенности разделения на кристаллы СВЧ МИС на сапфировых
подложках
Иванова Н. Е., Щаврук Н. В., Трофимов А. А., Кондратенко В. С. 368
Методика анализа на устойчивость GaN HEMT в режиме большого
сигнала при синтезе МИС УМ в САПР Microwave Offi ce
Леонтьев Е. В., Коротков А. С., Балашов Е. В. 374
Экстракция параметров модели HEMT-транзистора на основе
исследований рефлектометрическим методом
Тимошенков В. П., Хлыбов А. И., Родионов Д. В. 375
Результаты проектирования кремний-германиевого
высокочастотного аналого-цифрового преобразователя
Алексеев Г. В., Павлов В. Н., Репин В. В. 376
Проектирование SiGe СВЧ-устройства управления для
приемнопередающего модуля
Тимошенков В. П., Ефимов А. Г. 377
Методика построения нелинейной модели мощных GaN
транзисторов
Парнес Я. М., Тихомиров В. Г., Зыбин А. А., Куртеев Е. Е., Баловнев Н. К.,
Лубяной А. Н., Земляков В. Е., Кочанова Е., Альмухаметова А., Петров В. 379
Нелинейная динамика спин-инжекционного излучения
терагерцовых волн в наноразмерных магнитных переходах
Вилков Е. А., Максимов Н. А., Михайлов Г. М., Панас А. И., Черных А. В.,
Чигарев С. Г. 380
Моделирование тепловых процессов в СВЧ-модулях с различными
основаниями
Волосов А. В., Панасенко П. В., Пяточкин М. Д. 384
Перспективные приложения микроэлектронных интегральных
решений в миниатюрном квантовом стандарте частоты АО «РИРВ»
Оспенников А. М., Ермак С. В., Петренко М. В. 387
Разработка и исследование SiGe интегральных формирователей
квадратурных сигналов L- и S-диапазонов
Филиппов И. Ф., Поморев А. С., Харитонов С. А., Дученко Н. В.,
Ветров И. Л., Вертегел В. В., Гимпилевич Ю. Б. 389
О результатах исследования мощных микрополосковых СВЧ-
нагрузок на подложке полуизолирующего карбида кремния
Вьюгинов В. Н., Ребров А. Н., Зыбин А. А. 389
Модули антенные для АФАР
Глыбин А. А., Колковский Ю. В., Миннебаев В. М., Осиповский А. А.,
Редька А. В., Редька Ан. В., Тихомиров А. В. 391
Оптимизация предварительных УМ ППМ на основе GaN
по энергетическим характеристикам
Аболдуев И. М., Бенуни И. С., Миннебаев В. М., Тихомиров А. В., Царев А. В. 393
Сложно-функциональные блоки широкополосных усилителей
радиочастоты для однокристальных приемников L- и S-диапазонов
на основе технологии SiGe
Коколов А. А., Добуш И. М., Шеерман Ф. И., Бабак Л. И., Жабин Д. А.,
Светличный Ю. А. 395
Особенности разработки кремний-германиевых преобразователей
частоты, в том числе с интегрированным синтезатором на основе
ФАПЧ
Мухин И. И., Бычков М. С., Ионов Л. П., Шабардин Р. С. 401
Электрофизические свойства структур с тонкими пленками
сегнетоэлектриков
Певцов Е. Ф., к. т. н., Беспалов А. В., к. т. н., Буш А. А., д. т. н., Голикова О. Л. 403
Автоматический синтез СВЧ дифференциальных усилителей
на основе генетического алгоритма
Коколов А. А., Бабак Л. И., Жабин Д. А., Шеерман Ф. И. 408
Приемопередающий модуль Х-диапазона на кремниевой
коммутационной плате
Волосов А. В., Бавижев М. Д., Котляров Е. Ю., Панасенко П. В. 414
Формирование программы импортозамещения СВЧ ЭКБ
Щепанов А. Н., Исаев В. М., Кабанов И. Н., Невский А. А., Чуков Г. В. 416
Генераторы, управляемые напряжением, на GaN-тразисторах
Аболдуев И. М., Валамин Е. А., Дорофеев А. А., Зубков А. М.,
Миннебаев С. В., Царёв А. В., Кулиев М. В. 418
Сравнение быстродействия используемых АТД: AVL TREE, SPLAY
TREE, BINARY HEAP при функционировании RS1 coarsening функции
setupphase классического алгебраического многосеточного метода
Зубков А. М., Иванов К. А. 421
МИКРОСИСТЕМЫ 424
Перспективы разработки и производства микроакселерометров
и датчиков угловой скорости (микрогироскопов) на отечественных
предприятиях
Тимошенков С. П., д. т. н., професор 424
Использование микрофокусной рентгеновской трубки с кремниевым
автоэмиссионным катодом для целей безмасочной рентгеновской
литографии
Дюжев Н. А., Демин Г. Д., Пестов А. Е., Салащенко Н. Н., Чхало Н. И. 429
Самокалибровка интеллектуальных МЭМС-датчиков
на автоматизированном испытательном стенде
Шепелев С. О., Евстафьев С. С., Коробова Н. Е.,
Вертянов Д. В., Архипов А. В. 433
Проблемы и перспективы применения отечественных изделий
микросистемной техники в образцах специального назначения
Полушкин В. М., Тимошенков А. С., Зуев И. А., Сидоренко В. Н. 435
Вакуумный МЭМС-триод с кремниевым лезвийным
автоэмиссионным катодом
Грязнева Т. А., Демин Г. Д., Махиборода М. А., Дюжев Н. А. 439
Концепция изготовления МЭМС на основе специализированного
отечественного оборудования на кластерной платформе
Тупикин В. Ф., Герасименко Ю. В., Калугин В. В. 444
Новые конструкторско-технологические решения технохимических
операций изготовления элементов МЭМС и микросборок
Герасименко Ю. В., Сергиенко А. И., Ермакова А. С., Вертянов Д. В. 449
Перспективы реализации оптической связи на 1,5 мкм в кремниевых
монолитных электрон-фотонных интегральных схемах
Галкин Н. Г., Горошко Д. Л., Шевлягин А. В., Чусовитин Е. А., Галкин К. Н. 453
Функции самокалибровки и адаптивной компенсации температурной
погрешности в интеллектуальных МЭМС-датчиках
Тимошенков А. С., Коробова Н. Е., Шепелев С. О., Евстафьев С. С. 458
Датчик температуры на ПАВ на основе зеркальной топологии для
интеллектуальных систем управления
Анцев И. Г., Богословский С. В., Сапожников Г. А., Жгун С. А., Швецов А. С. 459
Тепловые преобразователи физических величин
Новиков Д. В., Онуфриенко А. П., Гусев Е. Э., Дюжев Н. А. 461
Исследование механической прочности многослойных мембран для
МЭМС-преобразователей физических величин
Гусев Е. Э., Дедкова А. А., Дюжев Н. А. 463
Проектирование фоточувствительных СБИС с анализом
разрешающей способности
Кононов А. А., Пугачёв А. А., к. т. н., Соколов С. В. 468
Напыление оксида ванадия с высоким температурным
коэффициентом сопротивления
Ерастов Д. А., Жукова С. А., Демин С. А., Турков В. Е., Ульянов С. А.,
Трошин Б. В., Иванов С. Ю., Шумилин А. О. 473
Катушка индуктивности, изготовленная по МЭМС-технологии
Баранов А. А., Жукова С. А., Обижаев Д. Ю., Турков В. Е. 475
Трехмерная микросборка на основе коммутационных плат
из кремния и бескорпусных элементов МЭМС
Вертянов Д. В., Бураков М. М., Кручинин С. М.,
Сидоренко В. Н., Брыкин А. В. 477
Конструктивно-технологические решения для тензопреобразователей
абсолютного давления и высокотемпературных тензопребразователей
на основе структур «кремний на сапфире»
Сычугов Е. М., Солдатов Г. Б., Воронцов В. А. 479
Миниатюрный двухосевой микромеханический акселерометр
в однокристальном исполнении с диапазоном измеряемых
ускорений ±10 м/с
Баранов А. А., Жукова С. А., Обижаев Д. Ю., Турков В. Е., Воробьев А. Д.,
Лагун А. М., Машевич П. Р., Трудновская Е. А. 480
ДЕЛОВАЯ ПРОГРАММА ФОРУМА 484
Доверенная платформа для создания масштабируемых систем
мониторинга и управления ресурсами объектов социального
назначения и ЖКХ «Инфосфера»
Мякочин Ю. О., Дьяков О. Н. 484
Система обнаружения атак «Аргус» на платформе «Эльбрус»
Виноградов Ю. В., Жуков А. В., Гончаренко М. В.,
Осипов А. А., Смирнов С. Е. 485
Автоматизация контроля электрических и электрофизических
параметров материалов микроэлектроники и устройств на пластине
Васильев И. А. 487
Зондовые станции компании SUPER SOLUTIONS & SERVICES
Боровский И. И. 488
Комплекс мер по качественному сокращению сроков разработки
и запуска в производство передовой ЭКБ
Верник П. А. 491