Методические указания содержат описание лабораторных работ по
курсу «Методы исследования материалов и структур микроэлектроники
и твердотельной СВЧ электроники».
В сборнике представлены лабораторные работы по электрическим,
оптическим, рентгеновским и электронно-микроскопическим методам
контроля свойств материалов и структур, применяющихся в технологии
микроэлектроники и твердотельной СВЧ электроники.
Материал предназначен для магистров дневного отделения с направлением подготовки по специальности 11.04.04, а также может быть использован аспирантами с направлениями подготовки по специальностям 05.27.01 и 05.27.06, научными работниками и инженерами базового предприятия.