eng
Содержание
ПЛЕНАРНЫЕ ДОКЛАДЫ 18
Смарт-карты на основе отечественных микросхем.
Разработка, производство, применение
Шелепин Н. А., д. т. н., профессор 18
Создание высокопроизводительных доверенных систем на базе
микропроцессоров с архитектурой КОМДИВ
Бобков С. Г., д. т. н., профессор 22
Synopsys: САПР и IP, что нового и применение в мире и в России
Иванова Е. Н. 27
Cadence. Средства разработки СнК с использованием СФ-блоков
Иванов А. А. 29
Модели полупроводниковых приборов для проектирования БИС
космического назначения
Петросянц К. О., д. т. н., профессор 33
Новые разработки радиационно-стойкой ЭКБ холдинга «ИНТЕГРАЛ»
Солодуха В. А., Белоус А. И., член-корр. НАНБ, д. т. н., профессор 37
Опыт создания конкурентоспособной отечественной аппаратуры
высокоточной навигации
Корнеев И. Л., к. т. н., Дубинко Т. Ю., к. ф.-м. н., Егоров В. В., к. т. н. 38
Проблемные вопросы задания требований, обеспечения и контроля
радиационной стойкости электронной компонентной базы микроэлектроники
Никифоров А. Ю., д. т. н., профессор, Телец В. А., Бойченко Д. В.,
Калашников О. А., Уланова А. В., Кессаринский Л. Н. 43
Маршрут радиационно-ориентированного проектирования
высокоинтегрированной электронной компонентной базы твердотельной
СВЧ электроники
Елесин В. В., Назарова Г. Н., Никифоров А. Ю., д. т. н., профессор,
Сотсков Д. И., Телец В. А., Усачёв Н. А., к. т. н., Чуков Г. В. 46
Спецстойкая электроника — основа космических систем
Груздов В. В., Колковский Ю. В., Миннебаев В. М. 50
Об информационном обеспечении разработчиков и изготовителей
аппаратуры о состоянии с созданием и перспективами развития
электронной компонентной базы
Исаев В. М., д. т. н, профессор 54
НАВИГАЦИОННОСВЯЗНЫЕ СБИС И МОДУЛИ 59
Опыт создания прототипа малогабаритной радиостанции на отечественной ЭКБ
Архипкин В. Я. 59
Требования к аппаратным платформам и ЭКБ перспективных (SDR)
портативных радиостанций
Левченко Е. Б., к. ф.-м. н. 59
4
Содержание
Система на кристалле: К5200МХ014 (РППУ-ЛСН) — радио и K1917ВС014
(ЦПП-ЛСН) — цифра. Перспективы применения и потенциальные
возможности проектируемых технических модулей
Корнеев И. Л., к. т. н., Егоров В. В., к. т. н. 59
Применение навигационных решений для повышения эффективности
радиоканала МСПСС «Гонец»
Тимчук А. А., к. т. н. 61
Разработка навигационного комплекса для точного земледелия
с использованием режима RTK
Дубинко Т. Ю., к. ф.-м. н. 62
Вопросы реализации технологии создания программно-управляемых
мощных и сверхмощных радиопередающих устройств для перспективных
систем связи, навигации и управления в диапазонах сверхдлинных
и длинных волн
Царев В. М., к. т. н., Сороцкий В. А., д. т. н., доцент,
Фролов В. Н., к. воен. н., Сугатов Н. Н. 63
Опыт создания высокоточных навигационных приемников на основе
комплекта мультиканальных мультичастотных мультисистемных RFFE ИС
Черняковский Д. Н., к. т. н. 65
Опыт разработки и применения устройств с магнитоинерциальными
датчиками, приемниками спутниковой навигации и направления
создания унифицированных модулей на базе МЭМС и приемников СНС
для аппаратуры навигации
Архипов В. А., к. т. н., Архипов А. В., Олаев В. А., к. т. н. 66
Преимущества разрабатываемой отечественной локальной системы навигации
Корнеев И. Л., к. т. н., Егоров В. В., к. т. н. 69
Разработка макета локальной системы навигации
Кузнецов А. С., Гришин А. Г. 71
Разработка алгоритмов уменьшения влияния узкополосных помех
на аппаратуру ГНСС и их реализация на специализированных СБИС
семейства NeuroMatrix
Клименко М. Ю. 74
Модуль универсального устройства интерфейса и параметрического
тестера МКПД по ГОСТ Р 52070-2003
Харин В. А., Демьянов П. Ю., Миронов Н. Ю., Стенькин Е. С. 75
Новый подход к разработке радиационно-стойкого комплекта СБИС
для приемника сигналов ГНСС
Александров А. В., Польщиков В. П., Фатеев И. А. 76
Автоматизация монтажа отечественных электрорадиоизделий
в производстве навигационно-связной бортовой аппаратуры
Полонский М. Е., Хохлов И. С., Проскуряков Д. И., Шевченко Д. С. 78
Применение SDR-трансивера платформы «Синергия» в наноспутниках
Малыгин Д. В. 79
Содержание 5
ВЫСОКОПРОИЗВОДИТЕЛЬНЫЕ ВЫЧИСЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ 85
Исследование надежности вычислительных модулей и системных плат
АРМ на микропроцессорах «Эльбрус»
Воробушков В. В., к. т. н., Гусев В. К., с. н. с., к. т. н., Лозовая Е. В.,
Гусев М. В., Молчанов И. А. 86
Система мониторинга и анализа данных высокопроизводительных
вычислительных комплексов
Маняхин Д. В., Халиуллин Ю. Х., Шишкин М. О. 88
Макеты задач робототехнических комплексов на языке Java в среде ОС «Эльбрус»
Бочаров Н. А., Сапачев И. Д., Парамонов Н. Б. 89
Планирование периферии кристалла с моделированием сетки
питания микропроцессора
Воробьев А. С., Мороз Я. Н., Краснюков Е. А. 91
Применение языка PPDL для автоматической генерации средств
разработки процессоров семейства NeuroMatrix
Дроздов А. Ю., Фонин Ю. Н. 93
Построение, адаптация и использование ОС на базе ядра Linux 4.4+ для
реализации задач цифровой обработки сигналов для БПЛА и мобильных
роботов на процессорах «Элвис» серии «Мультикор»
Карамов С. В., Козлов М. Э. 93
Доверенная программно-аппаратная среда для АСУ органов
государственного управления
Алексеев В. В., к. т. н., Исаев В. М., д. т. н, профессор, Чупринов А. А., к. т. н.,
Боков С. И., д. э. н. 94
Перспективы развития в направлении разработок
высокопроизводительных процессоров цифровой обработки сигнала
и вычислительных систем на их основе. Опыт создания среды
программирования для ЦОС в АО ПКК «Миландр»
Мякочин Ю. О. 96
Бессеточное моделирование на пути к петафлопу
Савихин С.А. 96
Суперкомпьютерные вычисления на ARM-архитектуре
Стегайлов В. В., д. ф.-м. н. 97
Повышение производительности кластера за счет проведения
специальных настроек
Мурашов А. В. 97
Перспективы построения специальных вычислительных машин
нестандартной архитектуры
Савихин С. А. 97
Необходимость создания специальных вычислительных машин
Лобачев М. П., к.т.н. 97
6
Содержание
ИНФОРМАЦИОННОУПРАВЛЯЮЩИЕ СИСТЕМЫ 98
Инновации в формировании единой информационной системы
Боков С. И., д. э. н. 98
Многофункциональные бортовые вычислительные системы
Куликов С. В., Сильянов Н. В. 102
Микропроцессор со встроенным механизмом конвейерного
мажоритирования для космических применений
Еремеев П. М. 104
Построение информационно-управляющей системы для аппаратуры
электроснабжения и управления электроракетными двигателями
космических аппаратов на базе модульной унифицированной структуры
с интерфейсом SpaceWire
Карамов С. В. 108
Измерение тока в гальванически развязанных цепях в системах
электроавтоматики
Иванов В. А., Балабанов А. А., к. т. н., Луковников А. Н., Якунин А. Н., к. т. н. 111
Использование кода Хэмминга для исправления двойных сбоев в смежных
разрядах памяти в аппаратуре космического назначения
Еремеев П. М. 113
Использование потоковых интерфейсов при обработке информационного
сигнала в задачах ближней радиолокации
Переверзев А. Л., Ливенцев Е. В., Примаков Е. В., Силантьев А. М. 115
Развитие подхода проекта MIPSfpga — реализация СнК на ПЛИС
из свободно распространяемых IP-блоков
Павлов А. Н. 117
Встраиваемые системы измерения ударных ускорений на основе
пьезоэлектрических датчиков
Горинов И. А., Шахворостов Д. Ю., Зинченко В. Н., Щеголева Т. В.,
Беклемишев Д. Н., Прокофьев Я. А. 118
Встроенный контроль логического элемента LUT FPGA
Городилов А. Ю., Данилова Е. Ю., Тюрин С. Ф. 120
Модуль сбора и обработки информации для исследования
радиолокационных отражений от растительности
Зосимов В. В., Переверзев А. Л., Сизов В. И. 126
Методики проектирования функциональных узлов аппаратуры систем
электроавтоматики космического аппарата
Луковников А. Н., Иванов В. А., Якунин А. Н., к. т. н. 128
Проблемы организации серийного производства высокоплотных
электронных модулей
Воронцов Л. В., Хохлов М. В., к. т. н. 129
Проектирование бортовых акустооптических модулей для программ
«ЭкзоМарс» и «Луна-Глоб»
Соколов И. А., Калинников Ю. К., Соколов А. В. 134
Содержание 7
Сравнительный анализ методов фильтрации с сохранением границ изображений
Кесарева Е. Д. 135
Алгоритм нахождения и классификации особых точек объекта
на основе детектора Харриса
Орлов В. П., Шариков Е. Н. 138
Модель системы автоматического управления движением гусеничного
роботизированного шасси с использованием нейронных сетей
Виноградов А. Н., Петров О. В., Терентьев А. И., Кочетков М. П. 145
Система передачи данных для робототехнического комплекса пожаротушения
Архипкин А. В., Петров В. Ф., Корольков Д. Н., Симонов С. Б. 149
ТЕХНОЛОГИИ И КОМПОНЕНТЫ МИКРО И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ 154
Исследование процесса плазменного травления пассивирующих
слоев Si3N4/SiO2
Голишников А. А., к. т. н., доцент 154
Выбор маски при глубоком криогенном травлении кремния
Гущин О. П., Валеев А. С., Мицын Н. Г., Руденко К. В., Мякиньких А. В. 154
Формирование топологии в толстых полимерных пленках
бензоциклобутена (ВСВ)
Кузнецов П. И., Гущин О. П., Красников Г. Я., Рубинас О. Р., Горнев Е. С.,
Каширин П. А., Колобова Л. А., Руденко К. В., Мяконьких А. В., Есенкин K. С. 155
Проблемы, возникающие при формировании многоуровневой медной
металлизации СБИС, и способы их решения
Гвоздев В. А., Валеев А. С., Кузнецов П. И. 157
Исследование характеристик пленок вольфрама, легированного рением,
используемого в качестве материала межсоединений металлизации
кремниевых ИС
Голишников А. А., к. т. н., доцент, Костюков Д. А., Путря М. Г.,
Шевяков В. И., д. т. н., профессор 158
Модификация технологического маршрута для задач повышения
радиационной стойкости
Московская Ю. М., Белостоцкая С. О., Федоров Р. А.,
Никифоров А. Ю., д. т. н., профессор, Бобровский Д. В., Уланова А. В. 162
Моделирование процесса формирования LDD-областей субмикронных
КНИ МОП-транзисторов в системе TCAD
Яшин Г. А., Амирханов А. В., к. ф.-м. н., Глушко А. А., к. т. н., доцент,
Зинченко Л. А., д. т. н., профессор, Макарчук В. В., к. т. н., доцент,
Михальцов Е. П., к. т. н., с. н. с. 165
Технологические особенности сращивания пластин кремния
Яшанин И. Б., к. ф.-м. н., Кононов С. В., Баранова О. В. 168
Разработка OPC-модели для технологии уровня 65 нм
Кузовков А. В., Иванов В. В., Михно М. Б., Арилин Р. А. 169
8
Содержание
Использование технологии микропрофилирования при формировании
приборных структур на основе нитрида галлия
Желаннов А. В. 171
Выбор комплекта оборудования для производства фотошаблонов
в зависимости от их сложности
Аваков С. М., Плебанович В. И., к. т. н. 174
Технологический процесс сборки СБИС в металлокерамические корпуса
с матричным расположением столбиковых выводов (типа CCGA)
на АО «ВЗПП-С»
Владимиров Д. С. 179
Обеспечение радиационной стойкости СБИС космического применения
на уровне 1 Мрад в базовых технологических процессах КНИ,
реализованных во ФГУ ФНЦ НИИСИ РАН
Морозов С. А., Волков С. И., к. т. н. 181
Технологические особенности формирования и перспективные
конструкторские решения 3D энергонезависимой памяти
Измайлов Р. А., Воронов Д. Д., Орлов О. М. 185
Физические особенности использования PolySi-затвора в Tri-gate-транзисторе
Баранов Г. В., Ключников А. С. 186
Моделирование конструкций теплоотвода для 3D-сборки различных
устройств микроэлектроники
Баранов Г. В., Кульков Д. С., Макеев В. В. 188
О результатах разработки гетероструктур различного применения
в рамках научно-технической программы Союзного государства
«Перспективные полупроводниковые гетероструктуры и приборы
на их основе» («Прамень»)
Калинин С. А. 190
Возможности гибридного (электронно-рентгеновского) наноскопа для
неразрушающего контроля компонентов микро- и наноэлектроники
Гелевер В. Д., Усачев Е. Ю., Манушкин А. А. 191
Исследование возможности создания памяти большой емкости
с использованием ячейки памяти на основе сегнетоэлектрического
переключения
Воронов Д. Д., Орлов О. М., Измайлов Р. А. 196
Пассивация стенок пор low-k-диэлектрика выбранными полимерами
Резванов А., Чанг Л., Ватанабе М., Криштаб М., Де Марнефф Ж.-Ф.,
Вердонк П., Армини С., О. П. Гущин, Чанг Л., Хакер Н., Бакланов М. Р. 200
Исследование особенностей функционирования МОП-транзисторов
на основе структур КНИ и объемного кремния при температурах > 125 °C
Бенедиктов А. С., Игнатов П. В. 203
Содержание 9
ИЗДЕЛИЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ ОБЩЕГО
И СПЕЦИАЛИЗИРОВАННОГО НАЗНАЧЕНИЯ 205
Фундаментальные проблемы структурной организации
микропроцессоров для высокотемпературной микроэлектроники
Антонов А. А., Бобков С. Г., д. т. н., профессор, Волков С. И.,
Краснюк А. А., к. т. н., доцент 205
Оценка точности работы блока динамического предсказания на тестах SPEC
Барских М. Е. 209
Особенности разработки высокопроизводительных конвейерных АЦП
Куликов Д. В., к. т. н., Савельев Д. И. 214
Специализированные микросхемы для обработки сигналов
многоэлементных фотодетекторов
Бочаров Ю. И., Бутузов В. А., Симаков А. Б. 216
Разработка интегральных микросхем по высоковольтным субмикронным
технологиям для силовой электроники
Антонов А. А., Васильев В. Ю., д. х. н., Попов Ю. Н. 220
Физическая часть (Physical Layer) интерфейсов передачи данных в виде
сложно-функциональных блоков (IP-блоков) и отдельных микросхем.
Особенности проектирования
Мажулин В. В., Бережной А. А., Барановский А. О. 225
Микропроцессорные системы и БМК специального применения
Зимин А. Е. 230
Микропроцессоры НИИСИ РАН для космического применения
Новожилов Е. А. 230
Конфигурируемый функционально-полный толерантный логический элемент
Тюрин С. Ф., заслуженный изобретатель РФ, д. т. н., профессор,
Зарубский В. Г., к. т. н., доцент 232
Микросхемы КМОП аналоговых ключей и мультиплексоров нового
поколения для высоконадежной аппаратуры космического назначения
Доманский Ю. Ф. 236
Перспективы развития направления по разработкам
радиационно-стойких микросхем в АО ПКК «Миландр»
Новоселов А. Ю., к.т.н. 236
Исследование характеристик КНИ МОП-транзисторов
высокотемпературных ИС (до 300 °С) при уменьшении размеров до 0,18 мкм
Лебедев С. В., Петросянц К. О., д. т. н., профессор, Самбурский Л. М., к. т. н.,
Стахин В. Г., Харитонов И. А., к. т. н., доцент, Исмаил-заде М. Р. 237
Оптимизация фотоприемной ячейки ПЗС с обратной засветкой
по критерию модуляции ее выходного сигнала
Кононов А. А., Пугачёв А. А., к. т. н., Ельников Д. С. 238
Отечественные матричные КМОП-фотоприемники разработки
ОАО «НПП «Пульсар»
Бородин Д. В., Осипов Ю. В., Васильев В. В., Пугачёв А. А., к. т. н. 242
10
Содержание
Статическое оперативное запоминающие устройство со сниженной
потребляемой мощностью
Кислюк А. Л., Коротков А. С., Балашов Е. В. 244
Разработка конструкторско-технологического базиса новой ЭКБ,
основанной на баллистическом транспорте носителей заряда, для изделий
микроэлектроники общего и специализированного назначения
Засемков В. С., к. т. н., Ивченко С. В., к. т. н. 245
Микропроцессорное ядро с открытой архитектурой RISC-V
для применения в сбоеустойчивых СнК
Старилов М. В. 245
Цифровой генератор тактовых частот с ФАПЧ для применения в составе СнК
Старилов М. В. 247
Понятие и критерии технологического процесса изготовления микросхем
с гарантированным уровнем радиационной стойкости
Уланова А. В., Никифоров А. Ю., д. т. н., профессор, Смолин А. А.,
Темников Е. С., Телец В. А., Левин Р. Г., Щепанов А. Н. 249
3
,3 В библиотека ввода-вывода по 2,5 В КНИ-технологии
Атюнин В. Г., Дедов С. М., Постнов О. В. 253
Новые разработки ОАО «НИИЭТ»
Бородовицын В. В. 253
Монитор контроллера PCI Express
Алексан П. А., Токарев И. В. 253
Генераторы тестов случайных воздействий для верификации RTL-моделей
Стамболян Р. Р. 255
Построение и синхронизация деревьев синхросигнала в сбоеустойчивых
системах на кристалле
Скоробогатов А. П. 257
Сигма-дельта-модулятор третьего порядка для отечественной 90 нм
КМОП-технологии
Рогаткин Ю. Б., к. т. н. 259
Особенности доступа к ОЗУ арифметическими сопроцессорами
в микропроцессорах разработки НИИСИ РАН
Аряшев С. И., Зубковский П. С. 264
Практическое импортозамещение. Проблемы и способы их решения
Виноградов П. С., Богданов А. В., Уткин Б. В., Шукалов А. В.,
Писарева М. А., Григорьева И. В. 269
Разработка блока помехоустойчового кодирования на основе LDPC-кода
Поперечный П. С. 271
Методика исследования производительности сложных многоядерных
гетерогенных систем в сквозном маршруте проектирования СнК
Путря Ф. М., к. т. н. 271
Содержание 11
Построение сетей на кристалле для многопроцессорных систем
Бандурин Н. С. 271
МЕТОДЫ И АЛГОРИТМЫ САПР СБИС 272
Проектирование интегральных схем на FinFET-транзисторах:
вызовы и решения
Меликян В. Ш., д. т. н., профессор, член-корр. НАН Республики Армения 272
Эволюция процесса разработки cистемы на кристалле
Попов И. А. 278
Схемотехнические SPICE-модели элементов БИС, учитывающие
радиационные эффекты
Петросянц К. О., д. т. н., профессор 281
Разработка методов моделирования установившихся периодических
режимов схем автогенераторов
Гурарий М. М., к. т. н., с. н. с., Жаров М. М., к. т. н., в. н. с.,
Русаков С. Г., чл-корр. РАН, д. т. н., г. н. с., профессор, Ульянов С. Л., д. т. н., г. н. с. 283
Моделирование электрических характеристик схем на мемристорах
средствами систем автоматизации схемотехнического проектирования
Ракитин В. В., Русаков С. Г., член-корр. РАН, д. т. н., профессор 285
Моделирование электрических схем с учетом влияния ТЗЧ
в отечественной САПР
Кокин С. А., Перминов В. Н., Волков С. И., Морозов С. А. 287
Моделирование радиоэлектронной аппаратуры с применением
автоматизированной системы комплексного моделирования АСКМ
«Прогресс». Перспективы развития
Шалумов А. С., д. т. н., профессор, Урюпин И. С., к. т. н. 288
Моделирование характеристик ФАПЧ на основе представления фазовой
макромодели в виде эквивалентной электрической схемы
Гурарий М. М., Жаров М. М., Ионов Л. П., Мухин И. И.,
Русаков С. Г., член-корр. РАН, д. т. н., профессор, Ульянов С. Л. 290
Программный комплекс для автоматизации процесса подготовки
управляющей информации для изготовления фотошаблонов
Иванов В. В., Медведев К. А. 292
Вопросы сопряжения системы приборно-технологического
моделирования с библиотекой алгоритмов оптимизации
Амирханов А. В., к. ф.-м. н., Глушко А. А., к. т. н., доцент,
Гладких А. А., к. т. н., доцент, Макарчук В. В., к. т. н., доцент,
Шахнов В. А., д. т. н., профессор 294
Использование современных моделей искусственных нейронных сетей
для анализа дефектов при изготовлении субмикронных СБИС
Амирханов А. В., к. ф.-м. н., Аристов Р. С., Власов А. И., к. т. н., доцент,
Гладких А. А., к. т. н., доцент, Захарченко А. А., к. ф-м. н.,
Макарчук В. В., к. т. н., доцент 296
12
Содержание
Характеризация заказных и аналого-цифровых IP-блоков
с использованием САПР компании Cadence (Liberate AMS и Spectre XPS)
Гудкова О. Н., к. т. н. 298
Опыт использования отечественной САПР для проектирования
радиационно-стойких аналоговых ИС
Аблогин В. В., Кокин С. А., Машевич П. Р., Перминов В. Н., Теленков В. В. 299
Необходимость перспективных встроенных инструментов контролепригодности
Сильянов Н. В. 300
Моделирование конструктивно-технологических разновидностей КНИ
МОП-транзисторов с повышенной радиационной и температурной стойкостью
Петросянц К. О., д. т. н., профессор, Попов Д. А. 303
Особенности SPICE-моделирования резонансных преобразователей
энергии для систем энергоснабжения космических аппаратов
Карамов С. В., Пильников Н. А. 309
Разработка открытой платформы моделирования процесса проекционной
оптической литографии
Амирханов А. В., к. ф.-м. н., Глушко А. А., к. т. н., доцент,
Гладких А. А., к. т. н., доцент, Макарчук В. В., к. т. н., доцент,
Шахнов В. А., д. т. н., профессор 310
Методика проектирования и верификации библиотек стандартных
цифровых элементов и элементов ввода-вывода
Ильин С. А., Кочанов С. К., Ласточкин О. В., Новиков А. А. 312
Методика разработки заказных буферов ввода-вывода на основе библиотек
специализированных цифровых элементов
Ильин С. А., Кочанов С. К., Ласточкин О. В., Новиков А. А. 317
Методы оценки качества конструктивных решений, применяемых
в современных СБИС
Амирханов А. В., к. ф.-м. н., Волков С. И., к. т. н., с. н. с., Кизиев С. А.,
Макарчук В. В., к. т. н., доцент, Сухов А. Г., Шахнов В. А., д. т. н., профессор 321
Эквивалентные условия и режимы проведения испытаний микросхем под
электрической нагрузкой
Амирханов А. В., к. ф.-м. н., Волков С. И., к. т. н., с. н. с., Кизиев С. А.,
Макарчук В. В., к. т. н., доцент, Шахнов В. А., д. т. н., профессор 323
Методика моделирования уровня стойкости библиотеки стандартных
элементов к воздействию тяжелой заряженной частицы для технологии
КНИ 0,25 мкм
Дельцов И. Л., Морозов С. А., Чистяков М. Г., Синепупова Ю. Н. 327
СВЧ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ И МОДУЛИ 333
Широкополосный комплексированный усилитель мощности Х-диапазона частот
Борисов О. В., Глыбин А. А., Еремин В. П., Коплевацкий Н. О., Миннебаев В. М.,
Редька Ан. В., Тихомиров А. В., Трушин А. Н., Федоренко Е. А. 333
Содержание 13
Опыт разработки МИС МШУ и УМ Х-диапазона на основе AlGaN/GaN-
гетероструктур с каскодным включением транзисторов
Федоров Ю. В., Майтама М. В. 335
Разработка МИС управляемого векторного фазовращателя Х-диапазона
Вертегел В. В., Гимпилевич Ю. Б., Лялюк Д. В., Филиппов И. Ф. 336
Сверхширокополосный приемопередающий модуль на основе дрейфового
диода с резким восстановлением
Зыбин А. А. 337
Приемопередающий модуль Х-диапазона на GaN HEMT
Груздов В. В., Колковский Ю. В., Миннебаев В. М. 337
Моделирование микрополосковых линий задержки СВЧ-сигнала
в частотной и временной области
Аболдуев И. М., Евграфов А. Ю., Иванов К. А., Миннебаев В. М., Царев А. В. 339
Разработка МИС малошумящих широкополосных усилителей на кремнии
Репин В. В., к. т. н. 343
Проектирование МИС СВЧ-аттенюаторов на КМОП-элементах
Репин В. В., к. т. н. 345
Корпуса и керамические подложки для производства микроэлектроники
широкого диапазона частот
Василенков Н. А. 346
Разработка микромодуля 20-ваттного усилителя мощности Х-диапазона
Аболдуев И. М., к. т. н., Евграфов А. Ю., Никольская Ю. О., Царев А. В. 346
Переключатель СВЧ-сигнала 1 2 диапазона частот до 15 ГГц на базе
AlGaN/GaN HEMT с невжигаемыми омическими контактами,
смонтированный методом fl ip-chip
Федоров Ю. В., Богданов Ю. М., Егоркин В. И., Занавескин М. Л.,
Павлов А. Ю., Майтама М. В. 349
Устройство для исследования кристаллов приемопередающего тракта АФАР
Иванов А. В., Езопов А. В., к. т. н., Балаева Н. В., Бутерин А. В. 351
Синтезатор частот метеорадара С-, Х- диапазонов
Овчинников В. Г., Цыпленков Ю. С. 354
Сравнительный анализ и оптимизация опорных источников колебания
СВЧ-диапазона
Кревский М. А. 357
Актуальные вопросы построения отечественных кремниевых
многофункциональных схем управления для систем АФАР
в интегральном исполнении
Мухин И. И. 357
Проектирование МИС СВЧ АЦП с частотой преобразования до 2 ГГц
Алексеев Г. В. 361
Мощные СВЧ-транзисторы AlGaN/GaN с in-situ-пассивацией Si3N4
Парнес Я. М. 362
14
Содержание
Приемно-усилительный модуль 8-мм диапазона с защитой по входу
от синхронных и несинхронных сигналов для работы в жестких
электрических режимах
Усов А. А. 363
Малошумящий высоколинейный усилитель диапазона частот до 2 ГГц
Платонов С. В. 364
Универсальные радиочастотные тракты и широкополосные
функциональные узлы для однокристальных приемников L-
и S-диапазонов на основе технологии SiGe
Шеерман Ф. И., Добуш И. М., Коколов А. А., Сальников А. С., Черкашин М. В.,
Шевляков М. Л., Бабак Л. И., д. т. н., профессор, Светличный Ю. А., Григорьев Е. В. 368
Комплекс методических и аппаратно-программных средств для
тестирования и оценки показателей радиационной стойкости
некорпусированных изделий ТСВЧЭ
Амбуркин К. М., Елесин В. В., Чуков Г. В., Назарова Г. Н., Усачев Н. А.,
Метелкин И. О., Калашников О. А., Никифоров А. Ю., Телец В. А.,
Артамонов А. С., Сангалов А. А., Егоров А. Н. 374
Микроминиатюризация приемопередающих субмодулей см-диапазона
Красников Г. Я., академик РАН, Волосов А. В., к. т. н., Котляров Е. Ю.,
Панасенко П. В., д. т. н., Тишин А. С., к. т. н. 379
Применение среды LabVIEW в задачах автоматизированного
проектирования СВЧ МИС в САПР Microwave Offi ce
Леонтьев Е. В., Березняк А. Ф., Коротков А. С., Балашов Е. В. 384
Трансформация синтеза фильтров частот в синтез твердотельных
СВЧ-переключателей
Березняк А. Ф., Коротков А. С., Балашов Е. В. 385
Библиотека элементов и функциональные блоки для создания
приемопередающих БИС космического назначения по отечественной
КМОП КНИ-технологии 180 нм
Усачев Н. А., к. т. н., Елесин В. В., Сотсков Д. И., Назарова Г. Н.,
Никифоров А. Ю., д. т. н., профессор, Чуков Г. В., Метелкин И. О.,
Жидков Н. М., Дмитриев В. А., Шелепин Н. А., д. т. н., профессор, Селецкий А. В. 387
Резисторы СВЧ на подложке SiC
Ребров А. Н. 391
Контроль качества гетероструктур, используемых в GaN СВЧ-транзисторах
Беспалов А. В. 392
Входной и технологический контроль гетероструктур, используемых
в GaN СВЧ-транзисторах
Беспалов А. В., к. т. н., Груздов В. В., к. э. н., Певцов Е. Ф., к. т. н. 392
Базовые конструктивные и технологические решения приемопередающих
СВЧ-модулей перспективных АФАР Х-диапазона
Далингер А. Г., Дудинов К. В., Духновский М. П., Щербаков С. В. 396
Содержание 15
Многофункциональные GaAs МИС СВЧ (core-chip) с малым
энергопотреблением на основе 2-уровневых pHEMT для перспективных
модулей АФАР
Богданов Ю. М., Дудинов К. В., Лапин В. Г., Смирнов В. В.,
Щербаков С. В., Щербаков Ф. Е. 397
Подложки нитрида галлия: современное состояние, проблемы и перспективы
Шретер Ю. Г. 398
Нестационарный тепловой расчет антенного модуля
Глыбин А. А., Дьяконица О. Ю., Иванов К. А., Сидорчук Е. А. 399
ГИС широкополосных усилителей мощности С- и Х- диапазонов на GaN-
транзисторах
Дьяконица О. Ю., Зубков А. М., Миннебаев В. М., Редька А. В., Ушаков А. В. 402
Исследование методов улучшения добротности интегральных кремниевых
катушек индуктивности
Мусенов Р. Ю. 404
Гетероинтегрированные многокристальные микромодули
на основе кремния для СВЧ-применений
Красников Г. Я., академик РАН, Панасенко П. В., д. т. н., профессор,
Волосов А. В., к. т. н. 404
Библиотека КМОП СВЧ-элементов и блоков
Андреев Д. А., Атамась Д. А., Копцев Д. А., Ковалёва О. С. 408
Мощные СВЧ GaN-транзисторы для применения в перспективных
системах связи и радиолокации
Тарасов С. В., Дикарев В. И., Цоцорин А. Н. 412
МИКРОСИСТЕМЫ 421
Разработка и изготовление микрогироскопов, микроакселерометров
и систем на их основе
Тимошенков С. П., д. т. н., профессор, Михеев А. В., Тимошенков А. С.,
Каменский А. М., Васильев С. Г. 421
Флип-чип-герметизация изделий функциональной электроники
Анцев И. Г., Богословский С. В., Новиков В. В., Сапожников Г. А. 424
Особенности емкостных акселерометров маятникового типа
Шалимов А. С., Тимошенков С. П., д. т. н., профессор, Коробова Н. Е.,
Калугин В. В., Тимошенков А. С., Анчутин С. А., Головинский М. С.,
Кунецова Л. И., Косолапов А. А., Шепелев С. О. 428
Измерение прочности адгезионного соединения, полученного методом
термокомпрессионного сращивания пластин при изготовлении
микроэлектромеханических систем (МЭМС)
Рискин Д. Д., Жукова С. А., Обижаев Д. Ю., Турков В. Е. 433
Преимущества технологии внутреннего монтажа при производстве
инерциальных систем на основе отечественных МЭМС
Вертянов Д. В., Петров В. С., Шабунин Д. А., Бураков М. М., Брыкин А. В. 437
16
Содержание
Особенности проведения тепловых расчетов микроэлектронной
аппаратуры для систем электроснабжения космических аппаратов
Карамов С. В., Кокин Н. Н. 439
Условия применимости цветных полиимидных слоев для микросистем
функционального назначения
Кравцова В. Д., Умерзакова М., Коробова Н. Е.,
Тимошенков С. П., д. т. н., профессор, Турманова Е. Н.,
Исайкина О. Я., Искаков Р. М. 441
Наноструктурирование пленок и мембран — эффективный способ
создания новых функциональных метаматериалов для изделий
микросистемной техники (МСТ)
Дюжев Н. А., к. ф.-м. н., доцент 446
Нераспыляемые геттерные структуры для МЭМС
Бойко А. Н., к. т. н., Гаев Д. С., к. х. н., Сырчин В. К., д. т. н., Тимошенков С. П., д. т. н. 450
Радиопоглощающие наноматериалы и покрытия для микросистем
Медовников Г. В. 454
Использование пленок Ge2Sb2Te5 для элементов фазовой памяти
микроэлектромеханических систем
Немцева С. Ю., Михайлова М. С., Шерченков А. А., Козюхин С. А., Лазаренко П. И.,
Шулятьев А. С., Глухенькая В. Б., Тимошенков С. П., д. т. н., профессор 454
Термостойкие полимерные материалы на основе полиимидов для
микросистемных электронных модулей
Кравцова В. Д., Умерзакова М., Коробова Н. Е., Тимошенков С. П., д. т. н., профессор,
Турманова Е. Н., Исайкина О. Я., Искаков Р. М. 456
Влияние обработки поверхности пластичного основания микромодуля
на качество металлизации слоев
Вертянов Д. В., Тимошенков С. П., Петров В. С., Шишов А. М., Мусаткин А. С.,
Коробова Н. Е., Диас Вольгфанг Хосе Грау 461
Исследование кинетики кристаллизации, термических
и электрофизических свойств тонких пленок материалов фазовой памяти
на основе системы Ge-Sb-Te
Шерченков А. А., Козюхин С. А., Лазаренко П. И., Бабич А. В., Терехов Д. Ю.,
Якубов А. О., Тимошенков С. П., д. т. н., профессор, Шулятьев А. С., Градова Н. И. 465
СВЧ-модули на основе многослойных структур
Греков О. А. 469
Матрица транзисторов для 3D-элементов микросистемной техники,
формируемая внутри канавок в кремниевой пластине 469
Орлов С. Н., Горнев Е. С., Ключнико А. С., Тимошенков В. П., Греков О. А. 469
Разработка и изготовление контактного датчика удара
Тимошенков А. С. 474
Разработка подвижных балочных элементов МЭМС-резонатора,
формируемых в канавках кремниевых пластин
Бобовников П. Г., Орлов С. Н., Шульга Ю. В., Буканов А. Г.,
Тимошенков В. П., Яфаров Р. К. 476
Содержание 17
МЭМС-датчик для контроля за утечками воздуха
в телекоммуникационных и других системах, работающих под давлением
Дюжев Н. А., к. ф.-м. н., доцент, Новиков Д. В., Катеев М. В. 480
Исследование механических свойств многослойных мембран
для МЭМС-структур
Дюжев Н. А., к. ф.-м. н., доцент, Новиков Д. В., Гусев Е. Э. 483
АМР-преобразователи для датчиков тока на отечественной элементной базе
Дюжев Н. А., к. ф.-м. н., доцент, Мазуркин Н. С. 487
Технология 3D-микросборки элементов МЭМС и интегральных схем на
основе интерпозеров и гибко-пластичных полимеров
Петров В. С. 488
Технология формирования сквозных отверстий в ЧЭ МЭМС
Виноградов А. И. 488
Разработка технологий формирования микросистем с использованием
интерпозеров
Сидоренко В. Н. 489
Технология ГМР-наноструктур для современных
магнитополупроводниковых микросистем
Беляков П. А. 489
Исследование применимости магниторезистивных элементов для
микросистем детектирования магнитных микро- и наночастиц в
биосенсорных устройствах
Жуков Д.А. 489
Моделирование деформации микромеханических структур под действием
электростатических сил
Григорьев Д.В. 489
Разработка матричных преобразователей акустического давления
Амеличев В.В. 489
Микромеханический гироскоп с двумя осями чувствительности
Лысенко И. Е., Ежова О. А. 489
Исследование гибкости прямоугольной складчатой балки
микромеханического акселерометра гребенчатого типа
Калугин В. В., Аунг Тхура, Чжо Мьё Аунг, Тимошенков А. С. 494
Расчет и моделирование микрополосковых устройств СВЧ на основе
многослойных полиимидных структур
Тимошенков В. П., Тимошенков С. П., Вертянов Д. В., Мусаткин А. С.,
Коробова Н. Е. 498
Зависимость выходного сигнала микромеханического гироскопа
от температурного градиента
Михеев А. В. 502