Книга посвящена рассмотрению практики прецизионной лазерной обработ-
ки и основана на результатах авторских работ, полученных в ЭНИМС в период
1963—1993 гг. и в НПЦ «Лазеры и аппаратура ТМ» в период 1998—2012 гг.,
а также на анализе многочисленных работ отечественных и зарубежных исследо-
вателей, опубликованных в открытых источниках. В книге дано определение по-
нятия лазерной прецизионной обработки и представлен обзор основных облас-
тей ее применений. Изучены закономерности лазерного сверления, резания,
фрезерования и разделения материала импульсами лазерного излучения с дли-
тельностью от единиц миллисекунд до сотен фемтосекунд. Рассмотрены процес-
сы формирования отверстия при лазерном сверлении во времени, влияние на
форму отверстия частоты следования импульсов, экранирование излучения на
продуктах абляции, образование полей термонапряжений в зоне обработки, при-
водящих к трещинообразованию. Проведена классификация процесса лазерного
резания материалов, сформулированы и объяснены основные закономерности
этого процесса. Приведены экспериментально установленные режимы опти-
мального резания различных материалов с использованием различных типов им-
пульсных и непрерывных лазеров, позволяющие обеспечить требования, предъ-
являемые к прецизионной и высококачественной обработке. Рассмотрена и
объяснена методика подбора таких режимов. Проанализировано, в каких случаях
целесообразно использовать лазерное фрезерование и каким образом оно дол-
жно проводиться. Приведены практические примеры лазерного фрезерования.
Рассмотрены перспективы и возможности технологии разделения полупро-
водниковых и диэлектрических материалов за счет использования механизмов
лазерного термораскалывания и формирования в материале внутренних зон раз-
рушения.
В заключительном разделе книги приведены технические данные и особен-
ности конструкции различных типов отечественных технологических установок
для прецизионной обработки, которые разработаны и производятся НПЦ «Лазе-
ры и аппаратура ТМ».
Книга рассчитана на специалистов научно-исследовательских, технологиче-
ских и производственных подразделений промышленных предприятий, исполь-
зующих лазерные технологии. Она будет полезной также для студентов и аспи-
рантов, изучающих процессы лазерной обработки.